半導(dǎo)體和MEM制造工藝中晶片清洗工藝中，對液體的純凈度要求是非常嚴(yán)苛的，通常會用到強堿、強酸等腐蝕性流體，對泵浦設(shè)備的性能和材料都有極高的要求，傳統(tǒng)的金屬泵體肯定無法實現(xiàn)，這里就出現(xiàn)了以PTFE為基材的風(fēng)囊泵。

　　風(fēng)囊泵的工作原理

　　風(fēng)囊泵的工作原理是采用壓縮空氣為動力源，通過換向閥控制壓縮空氣依次進(jìn)入兩個氣相工作腔工作，利用液相腔的交替吸液排液，實現(xiàn)對液體的輸送的泵。風(fēng)囊泵中兩個風(fēng)囊將泵腔分為兩個工作腔，每個工作腔分為氣相工作腔和液相工作腔兩部分，壓縮空氣進(jìn)入泵的氣相工作腔后，壓縮風(fēng)囊變形往復(fù)移動，實現(xiàn)液體介質(zhì)的輸送。

　　美寶風(fēng)囊泵特點

　　泵體于液體接觸部分全部由超純氟材料制成，耐化學(xué)腐蝕特性強，金屬離子與顆粒等污染物析出量非常低;

　　泵殼使用鋁合金材質(zhì)以增強殼體強度，并采用多層氧材料涂覆以增強防腐蝕能力;

　　百級、萬級無塵車間流水線生產(chǎn)，產(chǎn)品一致性高，產(chǎn)品交付貨期短;

　　產(chǎn)品通過CE歐盟共同體安全認(rèn)證。

　　風(fēng)囊泵與隔膜泵區(qū)別

　　隔膜泵是一種利用活塞運動來輸送液體的泵，它由一個隔膜和一個活塞組成，隔膜將泵的內(nèi)部空間分為兩個部分，一部分是空氣室，另一部分是液體室。當(dāng)隔膜泵工作時，活塞來回運動，使得隔膜來回移動，從而改變兩個室之間的壓力差，實現(xiàn)泵水或輸送其他液體的功能。隔膜泵的優(yōu)點在于它具有較高的輸送壓力和流量控制精度，適用于輸送高粘度液體和懸浮液等特殊介質(zhì)。

　　風(fēng)囊泵除具有氣動隔膜泵的主要優(yōu)點外, 因采用全氟材料，無任何金屬，耐腐蝕性，耐高溫性更強，好高使用溫度可達(dá)到 210 ℃;采用風(fēng)囊結(jié)構(gòu)使用壽命更長，更適用于連續(xù)工作情況;液體脈動較氣動隔膜泵小，如在管路中加裝脈沖緩沖器，脈動將會大幅度減小;在流體路徑中沒有任何葉輪部件,不會產(chǎn)生微型氣泡、粒子和離子污染，而且產(chǎn)品都是在 class 100 級的潔凈室內(nèi)完成測試包裝，非常適合半導(dǎo)體等潔凈度要求較高的行業(yè)使用。

　　總的來說，風(fēng)囊泵和隔膜泵在工作原理和結(jié)構(gòu)上存在明顯的差異。風(fēng)囊泵主要利用風(fēng)能驅(qū)動，結(jié)構(gòu)簡單可靠，適用于泵水或輸送其他液體;而隔膜泵則利用活塞運動來實現(xiàn)輸送，具有較高的輸送壓力和流量控制精度，適用于特殊介質(zhì)的輸送。在實際應(yīng)用中，可以根據(jù)不同的需求選擇合適的泵型。